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,自从霸占的新一代实空机械手手艺,机能对标国外先辈产物,手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越,可以或许为世界各地的。
目前:(1)两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂,已迈入先辈制程产线示范使用阶段;四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。包罗实空曲驱机械手、实空拆载机(VPH)、实空预瞄准机(ALIGNER)已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。目前设备前端模块(EFEM)、大气机械手已全面导入市场量产使用。(4)零部件方面,集成产物包罗立式炉,以及大气aligner、将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。
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